MKS.

品牌概况

MKS Inc. 原名 MKS Instruments, Inc.，1961 年在美国马萨诸塞州创立，总部位于马萨诸塞州安多弗，2025 年 5 月 16 日起改用现名。公司分为真空、光子和材料三个事业部，终端市场是半导体、电子与封装和特种工业。MKS 的第一个产品是 Baratron 电容压力计。

主要产品线

Baratron 电容压力计：直接测量压力，精度和重复性高，且不受气体成分影响。系列包括 626、627、628、722 等，例如 627F 加热到 45 °C、精度为读数的 0.12%。

真空传感器：901P 负载锁传感器专为负载锁环境设计，结合了压电与 Micro Pirani 两种传感技术；902B 是压电式绝压传感器，测量与气体种类无关；925 MicroPirani 是基于 MEMS 传感器的热导式真空规。Granville-Phillips 274 系列是玻璃 Bayard-Alpert 型热阴极电离规，例如 274008 的测量范围为小于 1×10⁻⁹ 至 1×10⁻³ Torr。

质量流量与气体分析：GE50A 是通用型、弹性体密封的数字质量流量控制器，满量程可在 5 sccm 至 50 slm（氮气当量）之间选择。Cirrus 3 是大气压气体分析仪，可在 ppb 到百分比的宽动态范围内跟踪气体成分。

订货代码与询价要点

各系列数据表最后一页有「Ordering Code Example」，按段说明订货代码。以 GE50A 为例，代码依次表示气体、满量程流量、接头、接口（数字通讯或模拟信号）、密封材料和常闭或常开，最后是固件版本；其中流量段的前两位是有效数字（中间隔一位小数点），第三位是 10 的幂次，例如气体码 013 表示氮气。

Baratron 也按代码区分量程、接头、精度和接口。MKS 说明 627F 可与更早的 627A、627B、627D 互换。询价时请提供铭牌上的完整型号和序列号；质量流量控制器还要注明气体和满量程流量。