ENTEGRIS.
Entegris 是美国半导体材料与污染控制产品供应商,总部位于美国马萨诸塞州比勒里卡(Billerica),在纳斯达克上市(代码 ENTG)。公司起源于 1966 年创立的 Fluoroware,1999 年由 Fluoroware 与 EMPAK 合并成立,2005 年与 Mykrolis 合并,之后陆续收购 ATMI、CMC Materials 等。产品有气体与液体过滤和纯化产品(如 Wafergard 气体过滤器、GateKeeper 气体纯化器)、液体输送系统与 PFA 管件阀门、有毒气体储存与输送系统、沉积和清洗用特种化学品、晶圆片盒与运输盒、特种涂层、石墨和碳化硅材料,以及硬盘部件托盘。主要用于半导体制造,也用于数据存储、平板显示、太阳能、制药和一般工业。选型时先确定介质(气体或液体)、工艺压力和温度、接口规格,再按过滤精度和材质(不锈钢、镍或 PTFE)选型号。

来自美国的ENTEGRIS品牌简介、应用领域与官方信息

ENTEGRIS 品牌简介
品牌概况
Entegris 的源头是 1966 年创立的 Fluoroware(流体与晶圆搬运)和 1980 年创立的 EMPAK(晶圆搬运)。1999 年两家合并成立 Entegris,2000 年在纳斯达克上市,代码 ENTG。2005 年与 Mykrolis 合并,Mykrolis 是 2001 年从 Millipore 分拆出来的液体与气体纯化公司。此后又收购了 Poco Graphite(2008 年)、ATMI(2014 年)、W.L. Gore 的微电子过滤产品线(2017 年)、SAES Pure Gas(2018 年)和 CMC Materials(2022 年)等。
按官网的公司概况,Entegris 总部位于美国马萨诸塞州比勒里卡,员工约 7700 人,有效专利约 4400 项,2025 年净销售额约 32 亿美元,研发投入约 3.29 亿美元。
主要产品线
气体过滤与纯化:Wafergard 气体过滤器有不锈钢和镍两种滤芯,耐腐蚀,适用于惰性、氢化物和反应性气体,表面贴装结构节省气体面板空间;另有在线式镍、PTFE 和不锈钢气体过滤器。超纯气体过滤产品的颗粒过滤精度为 0.0015 微米。气体纯化器可把气体纯化到 ppt 级,GateKeeper 是其气体纯化器产品。
液体过滤与流体处理:液体过滤器和纯化器用于去除光刻化学品、研磨液、溶剂、酸碱和水中的颗粒、凝胶、团聚物、金属离子和有机污染,膜材有 PTFE、PS 和 UPE,也有离子交换介质;流体处理产品有 Flaretek 管接头、PFA 扩口管件和阀门等。
其他产品:有毒气体的安全储存与输送系统;先进制程沉积和清洗用的特种化学品,以及 CMP 研磨液和清洗液;保护晶圆免受污染和破损的晶圆片盒与运输盒(含 150 mm 及以下尺寸);高纯特种涂层;石墨和碳化硅材料;硬盘部件的运输盒和托盘。
应用与订货
Entegris 的产品主要用于半导体制造(逻辑、存储芯片厂和设备厂),也用于数据存储、平板显示、LED、太阳能、航空航天、化工、水处理、制药和医疗器械等行业。询价时请提供包装或产品标签上的完整型号;过滤器要注明介质、接口形式和尺寸、滤芯材质和过滤精度,片盒要注明晶圆尺寸和系列号。
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