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美国BROOKS

美国 BROOKS 品牌简介

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Brooks Automation 始终全身心致力于实现全球企业责任,同时兼顾我们的客户、员工、股东以及企业运营所处的环境和社区。我们的核心价值观让我们能够将企业公民责任和社会责任融入业务的各个方面,我们积极努力让业务合作伙伴和供应链保持与我们相同的高标准。
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美国 BROOKS 品牌介绍

美国BROOKS 品牌历史

引领创新……从一开始

它始于 1946 年:二战后第一个完整的和平年;第一台计算机ENIAC问世;“自动化”这个词开始使用。由 Stephen A. Brooks 创立的 Brooks Rotameter 公司在宾夕法尼亚州兰斯代尔开业。

新公司的建立基于创新的侧板、销钉转子流量计结构原理。它是一种更好的工具,可以提供更可靠的结果 - 从一开始,对技术的承诺就有助于改变行业测量和控制基本流程的方式,这一直是我们的传统。

增长的催化剂

在我们七十年的成长和成功中,Brooks Instrument 开创了多种改变游戏规则的流体测量和控制技术,例如我们耐用且精简的 Sho-Rate® 可变面积流量计,该流量计于 1958 年首次推出,并被 NASA 用于泄漏测试1965 年 3 月,双子座太空计划的宇航服。

从那时起,成为布鲁克斯仪器家族成员的公司在我们的创新传统中发挥着同等的作用。Tylan General 和 UNIT Instruments 等开创性质量流量技术的创造者与布鲁克斯一样,决心成为质量流量技术开发和应用变革的催化剂。

释放质量流量潜力

我们的传统包括引入并不断推进质量流量测量和控制技术,这些技术在创建推动数字世界的全球半导体行业中发挥了重要作用。

质量流量控制器 (MFC) 首次在阿波罗航天器上用于精确测量氧气流量,在 20 世纪 70 年代,随着 Tylan FC-260 的推出,质量流量控制器 (MFC) 开始商业化,这首次使半导体制造商能够自动控制其工具中的工艺气体,从而使工业规模的吞吐率和产量。

1980 年,UNIT Instruments 推出了 UFC1000.提供响应更快、更安全的常闭 MFC 阀门,更适合蚀刻等要求苛刻的工艺。到 20 世纪 90 年代初到中期,Brooks Instrument 发布了首款金属密封 MFC (5850EM),提高了可靠性和耐腐蚀性气体,并且发布了首款全数字 MFC,提高了精度并易于集成到工艺工具。

添加到质量流量设备中的每项创新或技术功能都是为了一个基本目标而创建的:帮助制造商将其过程结果的精度和准确度提升到新的水平。

增强应用程序性能

我们的技术始终不仅仅是我们所服务行业突破的催化剂。我们还致力于不断提高其在实际应用中的性能,以实现更大的过程灵活性,提供更广泛的仪器选择并响应独特的操作要求。

例如,1998 年,Brooks 发布了 Mf 系列,这是首款防风雨和危险区域 MFC,允许该技术在户外、冲洗/软管冲洗应用和危险区域使用。Brooks 还推出了首款基于科里奥利的微型 MFC,为客户提供了更高的低流量液体测量和控制精度。

2000 年代初出现了针对特定领域的多项创新:

紧凑型表面安装 MFC 的推出,使 OEM 能够将气体面板尺寸缩小多达 60%,从而节省了工艺工具周围急需的空间。

随着第一台数字电容压力计的推出,真空测量进入了一个新时代。

2001 年,MultiFlo® 质量流量技术为热式质量流量计和流量控制器的用户提供了对不同气体和流量组合的输送进行编程的能力 — 所有这些都可以通过一台设备实现。

2004 年,Celerity Instrumentation(以前称为 UNIT Instruments)发布了 IFC125.这是首款压力瞬变不敏感 (PTI) MFC,提供市场领先的响应时间和入口压力变化补偿。

保持创新传统

2009 年,Brooks 收购了 Celerity Instrumentation,其中包括 Tylan、Mykrolis 和 UNIT Instruments 等行业领导者的技术遗产。我们继续在这一综合遗产的基础上,在多个领域取得进步,包括:

GF100系列是面向半导体行业的高度通用的通用MFC平台,结合了MultiFlo®、PTI和其他先进技术,为精度、性能和长期价值设定了行业标准。

GF135 MFC 是首款具有集成实时流量误差检测功能的 MFC,使半导体制造商能够验证工艺气体精度、检查阀门泄漏并实时监控传感器稳定性,而无需从气体管线上拆除流量控制器。

MT3809 VA 流量计现在配备了具有 HART 7 功能的改进型变送器和带本地操作员界面的数字 LCD 显示屏,无需拆下盖子即可更改参数,这意味着即使在危险区域也可以进行更改。

今天,我们的创新传统继续推动和激励我们增强现有平台并开发和部署新技术,所有这些都只有一个目标:不断帮助我们的客户改变其系统和运营的性能。

美国BROOKS 应用领域

  • 生命科学
  • LED
  • 样品管理
  • 显示屏制造
  • 半导体机台自动化
  • 一般真空应用
发布时间:2023-10-27 08:16:00
更新时间:2024-01-17 03:55:01